四點探針 & 面板量測

探針台規格
● 溫度範圍 : RT
● Chuck尺寸 : 8″ wafer or 32″ flat panel
● 高電壓範圍 : 200 V
● 低電流範圍 : <100 fA
● Pulse模組 ❌
● CV模組 ❌
● 外罩封箱(Shielding Box) ✔

適用量測類型
● On High Power Chip / Module
● Four Points Prober (4PP)
● FPD Testing
● On Wafer Device